반도체 웨이퍼 툴 컨트롤밸브를 위한 전류/공압 변환기
IPT2 – DIN rail mounting Current To Pneumatic Converter
웨이퍼 제조 장비는 일반적으로 마스킹 공정에 탈이온수와 기타 화학 물질을 필요로 하며, 이 과정에서 작은 밸브를 정밀하게 제어해야 합니다.
이러한 제어 밸브는 크기가 너무 작아 현장 설치형 입력/출력(I/P) 또는 포지셔너를 수용할 수 없으므로, 높은 정확도와 반복성을 갖춘 2선식 루프 전원 공급 방식의 DIN 마운트 전류-압력 트랜스미터인 IPT2가 최적의 솔루션입니다.
IPT2는 5, 10 또는 15 포지션 랙에 장착하여 고밀도 설치가 가능하며, 백플레인 헤더 설계로 공기 공급, 필터링 및 조절이 간소화됩니다. IPT2는 최적의 제어를 위한 공압식 폐루프 피드백 회로를 포함하고 있으며, 입력 모니터링을 위한 전면 장착형 테스트 리드와 옵션으로 전면 장착형 공압식 테스트 잭을 제공합니다.



주요 특징
