IPT2 DIN Rack for Wafer Tool Valve Control

반도체 웨이퍼 툴 컨트롤밸브를 위한 전류/공압 변환기

IPT2 – DIN rail mounting Current To Pneumatic Converter

웨이퍼 제조 장비는 일반적으로 마스킹 공정에 탈이온수와 기타 화학 물질을 필요로 하며, 이 과정에서 작은 밸브를 정밀하게 제어해야 합니다.

이러한 제어 밸브는 크기가 너무 작아 현장 설치형 입력/출력(I/P) 또는 포지셔너를 수용할 수 없으므로, 높은 정확도와 반복성을 갖춘 2선식 루프 전원 공급 방식의 DIN 마운트 전류-압력 트랜스미터인 IPT2가 최적의 솔루션입니다.
IPT2는 5, 10 또는 15 포지션 랙에 장착하여 고밀도 설치가 가능하며, 백플레인 헤더 설계로 공기 공급, 필터링 및 조절이 간소화됩니다. IPT2는 최적의 제어를 위한 공압식 폐루프 피드백 회로를 포함하고 있으며, 입력 모니터링을 위한 전면 장착형 테스트 리드와 옵션으로 전면 장착형 공압식 테스트 잭을 제공합니다.

IPT2 for Wafer Tool Control Valve
IPT2 for Wafer Tool Control Valve
IPT2 DIN Rack for Wafer Tool Valve Control
IPT2 DIN Rack for Wafer Tool Valve Control
IPT2 DIN Rail
IPT2 DIN Rail

주요 특징

높은 정확도와 반복성
탁월한 진동 저항성 및 폐루프 피드백 회로
고밀도 설치 옵션

보다 자세한 협의가 필요하시면 이분야에서 오랜 경험을 쌓았으며, Moore Ind. Int’l 사 공인 대리점인 티엠솔루션(주)를 찾아 주십시오. 전화 02-2025-4280, 이메일 sales@tmsolutions.co.kr 입니다.
감사 합니다.

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